作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-04-25
单极性脉冲偏压电源通过以下方式减少工件表面的损伤程度：
首先，其高频单极性脉冲偏压在工件上施加时，存在电压中断间隙，这个特性使得打火次数得到有效减少。打火次数的减少直接降低了工件表面因打火而产生的损伤风险。
其次，单极性脉冲偏压电源利用高频逆变技术中的快速关断能力。这种能力能有效减少每次打火时释放的能量。即使在实际出现打火的情况下，由于释放的能量被显著降低，工件表面的损伤程度也能得到明显减轻。
此外，在脉冲间隙期间，沉积到工件表面的离子能量非常低。这种低能量沉积有助于进一步减少工件表面的损伤，同时也有利于通过调节频率和占空比来更精细地改善和控制成膜的速度和质量。
综合以上因素，单极性脉冲偏压电源在减少工件表面损伤程度方面表现出了显著的效果。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
