作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-04-25
单极性脉冲偏压电源在真空离子镀膜等应用中具有一些明显的优点。
首先，其高频单极脉冲偏压施加在工件上，存在电压中断间隙，能有效减少打火次数，从而保护工件表面。在脉冲间隙期间，工件表面积累的电荷可以被中和，减少了表面电荷积累引起的打火。
其次，高频逆变技术中的快速关断能力能有效减少每次打火释放的能量，即使在打火出现时，也能明显降低工件表面的损伤程度。
此外，脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低，这样可以通过调节频率、占空比来改善和控制成膜速度和质量。
最后，与直流偏压相比，单极性脉冲偏压电源能更好地控制离子轰击过程，从而优化薄膜的微观结构和性能。
因此，单极性脉冲偏压电源在提高薄膜质量、减少工件损伤以及优化工艺控制等方面具有显著优势。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
