具备普通中频电源所有功能
镀膜质量及均匀性均有所上升，色差更小
针对不同靶材灵活设定频率，帮助客户最优化定制抑弧性能、膜层性能、沉积速率
平衡靶材溅射速率，延长生产周期，节省靶材成本。还可以实现共溅射功能，溅射不同靶材
超宽的阻抗匹配范围，适合更多种类靶材，工艺窗口更宽
| 项目 | 型号 | ||||
| SMS-10 | SMS-20 | SMS-30 | SMS-40 | SMS系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||
| 输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
| 工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 5A-30A | 7A-40A | 2A-100A可定制 |
| 空载电压 | ＞1000V | ||||
| 工作电压 | 100V～1000V（可定制） | ||||
| 工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
| 输出频率 | 20kHz～160kHz（常规频率：20kHz～40kHz） | ||||
| 波形 | 用户可调正弦波 | ||||
| 占空比 | 5%-94% | ||||
| 调节精度 | ≤1% | ||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||
| 响应时间 | ＜500ns | ||||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | ||||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||
| 尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | ||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | ||||
