| 项目 | 型号 | ||||
L**-10/A L**-10/B | L**-20/A L**-20/B | L**-30/A L**-30/B | L**-40/A L**-40/B | PECVD系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||
| 输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
| A款:工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 4A-30A | 5A-40A | 2A-100A可定制 |
| A款:工作电压 | 100V～1000V（空载电压＞1000V） | ||||
| B款:工作电流 | 2A-12.5A | 3A-25A | 4A-37.5A | 5A-50A | - |
| B款:工作电压 | 100V～800V（空载电压＞800V） | - | |||
| 输出频率 | 20kHz～350kHz（常规频率：20kHz～80kHz） | ||||
| 占空比 | 10%～80%（最大94%） | ||||
| 工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
| 调节精度 | ≤1% | ||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||
| 响应时间 | ＜500ns | ||||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | ||||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||
| 尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | ||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | ||||
