作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-04-27
在溅射镀膜工艺中我们常见的有中频磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压脉冲电源、弧电源，简单原理是利用高电压电离出来的Ar离子轰击靶材，使得靶材原子溅射出来并沉积在基片上。这个过程一般会在靶材后加磁场来提高溅射效率，这就叫磁控溅射。单极性脉冲磁控溅射电源是直流磁控电源的升级产品，在稳定性、抑弧方面、产品亮度都有了进一步更大的提升。
该电源可应用于单极性磁控溅射靶材、金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜等领域，它采用了先进的高频开关电源技术，使用最新开关器件，具有恒流输出特性和良好的适应性。 主要特点：采用多功能触摸屏，精度高；有效改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数；膜层致密、光洁度较好；具有效率高、运行稳定等优点。以下是电源的一些参数，可以帮助我们更好清晰的认识这款电源。
单极性脉冲磁控溅射电源 研发成功后第一时间可以给到客户去使用，经过不同客户使用反馈，相比直流磁控溅射电源这款电源在功能和效果上的确是有了大幅度的提高，得到了广大客户的一致认可，期待这款电源带来的不仅仅是福音，也可以在您的工作生产中发挥应用的作用，快快联系我们去试一下我们这一款电源，保证会有意想不到的惊喜等着您。
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