作者:深圳市英能电气有限公司
时间:2024-08-20
电弧蒸发源和多弧离子镀膜机具有一系列显著的优点,这些优点使其在多个工业领域得到广泛应用。以下是它们的主要优点:
电弧蒸发源的优点
高离子能量和高离化率:电弧蒸发源通过冷阴极自持电弧放电,实现了场致发射,能够产生高达60%-80%的离化率,使得镀膜的离子能量更高,从而提高了镀膜的质量和性能。
高沉积速率:电弧蒸发源的沉积速率非常快,例如对于TiN材料,其沉积速率可达到100nm/s~1000nm/s,这大大提高了生产效率。
灵活性:作为固体型的蒸发源,电弧蒸发源的形状、大小和位置可以根据需要进行调整,以适应不同的镀膜工艺要求。
运行真空范围大:电弧蒸发源能够在较大的真空范围内稳定运行,这为镀膜过程提供了更多的灵活性和稳定性。
多弧离子镀膜机的优点
高效可靠:多弧离子镀膜机采用特殊的冷阴极电弧放电技术,能够产生高密度、高强度的膜层,使得镀膜的寿命更长、强度更高。这种技术确保了镀膜过程的稳定性和可靠性。
工艺范围广:多弧离子镀膜机适合在较高真空或较低环境温度(如200°C)下做反应镀、离子镀等多种工艺,能够满足不同材料的镀膜需求。
优异的膜性能:多弧离子镀膜机能够制备出结构致密、与镀件牢固结合的膜层。工件的轰击加热、清洁和沉积均由离化金属等离子体轰击完成,实现了“一弧三用”,提高了膜层的综合性能。
生产效率高:多弧离子镀膜机具有较大的镀膜空间和生产效率高的特点,适合大批量的工业化生产。其设备生产效率高、工作周期短,能够显著降低生产成本。
操作简便:多弧离子镀膜机通常配备有自动控制系统,能够消除人为错误,提高生产过程的稳定性和可控性。同时,设备的操作简单、抽气速度快等特点也降低了操作难度和劳动强度。
广泛的应用领域:多弧离子镀膜机在电子、化工、轻工、机械、国防、采矿、冶金等诸多行业领域均有广泛应用。例如,在工具、模具的超硬涂层以及高尔夫球具、钟表、卫浴洁具等产品的装饰涂层方面,多弧离子镀膜机都表现出了优异的性能和市场前景。
综上所述,电弧蒸发源和多弧离子镀膜机以其高效、可靠、灵活、工艺范围广和优异的膜性能等优点,在多个工业领域得到了广泛应用和推广。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958