作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-06-28
磁控溅射镀膜过程中可能遇到的常见故障及其解决办法可以归纳如下：
常见故障一：无法起辉
原因：
直流电源故障。
氩气进气量小。
真空室清洁度不够。
靶材绝缘度不够。
磁场强度不够。
真空度太差。
解决办法：
检查直流电源，确保电源工作正常。
检查氩气流量计或加大氩气进气量。
清洁真空室，确保室内无杂质和污染。
检查靶材是否与地短路，确保在通水的情况下，对地电阻在50kΩ以上。
检查永磁体是否消磁，如有必要，更换永磁体。
检查真空系统，确保真空度达到要求。
常见故障二：辉光不稳
原因：
电压电流不稳。
真空室压力不稳。
电缆故障。
解决办法：
检查电源，确保电压电流稳定。
检查氩气进气量及真空系统，确保真空室压力稳定。
检查电缆连接是否良好，如有必要，更换电缆。
常见故障三：成膜质量差
原因：
基片表面清洁度差。
真空室清洁度差。
基片温度过大或过小。
真空室压力过大。
溅射功率设置不当。
解决办法：
清洁基片表面，确保无杂质和污染。
清洁真空室，提高镀膜质量。
检查温控系统，校准热电偶，确保基片温度适中。
检查真空系统，降低真空室压力。
检查直流电源，设置合适的溅射功率。
常见故障四：溅射速率低
原因：
氩气进气量过大或过小。
靶材过热。
磁场强度不足。
解决办法：
观察辉光颜色，调整氩气进气量至合适范围，检修流量计。
检查冷却水流量，确保靶材不过热。
检查永磁体是否消磁，必要时更换永磁体。
以上故障及其解决办法涵盖了磁控溅射镀膜过程中可能遇到的主要问题。在实际操作中，应结合具体情况进行细致分析，并采取相应的优化措施。同时，定期维护和检查设备也是预防故障发生的重要措施。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
