作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-06-05
真空镀膜电源的工作原理主要基于高频振荡电路。它负责为镀膜过程提供稳定、高质量的电能。以下是其工作原理的详细解释：
电源供应与高压产生：真空镀膜电源通常包含一个高压电源供应部分，用于产生所需的高电压。这个高压电源为电子枪或其他蒸发源提供所需的电能。电源供应的稳定性和精确性对于确保镀膜过程的稳定性和质量至关重要。
电子束或蒸发源的控制：在真空镀膜过程中，电子束或蒸发源是将材料从源位置转移到基底表面的关键。电源通过控制电子枪或蒸发源的电流、电压等参数，来调节材料的蒸发速率和沉积速率。这些参数的控制对于实现均匀、致密的镀膜层至关重要。
离子化、加速和沉积：真空镀膜电源通过控制电源的频率、电压和电流等参数，实现对镀膜材料离子化、加速和沉积过程的精确控制。在离子化阶段，电源产生的高能电子与气体分子碰撞，使气体分子电离成离子和电子。在加速阶段，电场将离子加速到一定的速度，使其具有足够的能量撞击靶材。在沉积阶段，离子撞击靶材后，靶材原子或分子被溅射出来，并在基底上形成薄膜。
总之，真空镀膜电源通过高频振荡电路产生高电压和电流，控制电子束或蒸发源的参数，实现对镀膜材料离子化、加速和沉积过程的精确控制，从而制备出高质量、均匀致密的镀膜层。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
