作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-04-27
单极性脉冲偏压电源在真空镀膜等工艺中具有重要作用。以下是其主要作用：
1. 提高离子能量：单极性脉冲偏压电源可以提高真空等离子体中带电粒子的能量，这些高能粒子轰击工件表面，有助于提高后续沉积膜层的结合力。
2. 减少打火次数：由于单极性脉冲偏压存在电压中断间隙，能有效减少工件表面的打火次数，保护工件免受损伤。
3. 中和表面电荷：在脉冲间隙期间，工件表面积累的电荷可以被中和，减少表面电荷积累引起的打火问题，进一步优化了工件表面的处理效果。
4. 改善成膜质量：通过调整频率和占空比，单极性脉冲偏压电源可以改善和控制成膜的速度和质量，从而优化薄膜的性能。
5. 提供灵活性：单极性脉冲偏压电源的不同电压输出方法或极性可以改变沉积规则，调整膜层的颜色和性能，为用户提供更多的设计灵活性。
总的来说，单极性脉冲偏压电源在提高工件表面质量、优化薄膜性能以及提供设计灵活性等方面都发挥着重要作用。它是真空镀膜等工艺中不可或缺的关键设备之一。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
