作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-04-15
中频磁控溅射电源是一种高效能、高稳定性的真空镀膜电源，它将大功率中频电源与磁控溅射技术相结合，以达到高质量、高效率、高稳定性的镀膜工艺。具体来说，磁控溅射是一种常用的物理气相沉积技术，通过在真空室中使用磁场和高频电场激发靶材表面的原子或离子，使其喷发并沉积在基底上形成薄膜。
中频磁控溅射电源的特点包括：
1. 高效率：中频电源可以提供稳定、高效的能量，能更快速、更均匀地形成溅射等离子体，用较短的时间涂覆出更大的面积，从而大幅缩短生产时间。
2. 高稳定性：中频电源稳定性好，其输出电流和电压波动小，可以减少生产过程中的异常情况和误差，提高生产效率和质量。
3. 高档次：此电源可以制备出材料的高质量、高性能的夹层结构，使产品更适应市场需求。
此外，中频磁控溅射电源的频率通常在10kHz至100kHz之间。相较于低频和高频，中频对靶材表面的附着力更强，有更高的利用率。同时，中频也能减少电弧的产生，提高工作稳定性。它还能产生强大的磁场，与磁控溅射靶材的磁性材料相互作用，形成磁控区，有效地控制离子的行为，提高溅射效率，使沉积薄膜均匀且致密。
中频磁控溅射电源广泛应用于各种领域，如红宝石激光、VD射频退火、液晶显示、半导体材料、太阳能电池板、先进涂层等，是各种工业和研究应用中最好的材料表面涂覆工具之一。
以上信息仅供参考，如需了解更多信息，建议查阅相关书籍或咨询磁控溅射镀膜技术领域的专业人士。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
