作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-07-20
前面已经讲解了离子镀膜技术的两个特点，今天来说说离子镀膜技术的第三个特点是在镀膜过程中伴有发光的现象，因为中频磁控溅射电源等镀膜电源工作电离了以后离子最外层缺失了电子，是处于不稳定的高能状态，当离子遇到了电子以后，它要捕捉到电子，把他填补到缺失的电子位置上，使自己变成稳定的状态，但这个时候要放出能量来，放出电离以后吸收的能量，能量是以光量子的形态放出的，也就是说要有发光现象，我们叫复合发光。离子镀膜技术是在各种气体放电中进行的，也就有电离过程和复合过程，所以离子镀膜过程会伴有发光现象。这个动画片是前面看到的，氩原子被电离之后的氩离子，最外层轨道缺失电子，所以当它遇到电子之后，这个电子就填补了电子的缺位放出光来。
离子镀膜技术是在各种气体放电中进行的，无论是气态物质源还是固态物质源，他们都可以在辉光放电中进行也可以在弧光放电中进行。辉光放电型离子镀膜技术有直流辉光放电离子镀膜技.中频放电离子镀膜技术，射频放电离子镀膜技术。在弧光放电类型中，有热弧光放电离子镀膜技术，冷阴极弧光放电离子镀膜技术/等离子炬电弧镀膜技术，各种离子镀膜技术都伴随有发光现象。
凡是在气体放电等离子体中进行的镀膜技术都是离子镀膜技术，离子镀膜膜层的粒子能量要高普通镀膜技术，离子镀膜技术工艺的参数多，调整离子镀工艺参数可以获得各种功能薄膜的膜层，因为离子镀是在放电中进行的，获得了由离子和电子组成的等离子体，他们可以受电厂和磁场的控制，所以离子镀的发展是施加了各种电场磁场作用，充分发挥等离子体在镀膜中的作用，离子镀膜技术是在真空中进行的，他利用的是等离子体的能量，所以他是高效/节能/无污染的绿色环保技术。
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