作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-04-03
离子源电源是一种用于供给离子源的电源设备，主要作用是为离子源提供所需的偏压电压，以控制离子束的能量和流强，从而实现对离子束的精确操控。离子源是一种能够产生离子束的装置，广泛应用于材料表面分析、离子注入等领域。离子源电源通常采用直流电源的形式，其输出电压范围一般在几千伏至数十千伏之间。它是离子源系统中不可或缺的一部分，通过为离子源提供稳定的偏压电压，实现对离子束的精确操控，从而满足各种应用需求。
此外，离子源还可以指使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。
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