作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-03-29
单极性脉冲磁控溅射电源是一种采用矩形波电压的脉冲电源，用于替代传统的直流电源进行磁控溅射沉积。这种电源可以有效地抑制电弧产生，进而消除由此产生的薄膜缺陷，并提高溅射沉积速率，降低沉积温度。
其主要特点包括明显改善靶面电荷积累现象、减小溅射表面的打火次数、提高膜层质量等。
此外，单极性脉冲磁控溅射电源还具有平均电源稳定功能，具有理想的电压陡降特性，充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。它主要用于金属、合金及石墨等靶材镀制金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
