作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-03-25
真空镀膜电源的种类主要包括以下几种：
1. 直流(DC)溅射电源：这种电源主要用于磁控溅射方法中，通过在溅射靶材表面施加直流电压，使得靶材表面的原子离开靶材并沉积在基底上。它能够产生稳定的电弧并控制离子的能量和溅射速率。
2. 射频(RF)电源：射频电源用于产生高频电场，使得材料以离子形式在真空室中沉积到基底表面上。射频电源适用于一些对直流溅射反应不佳的材料。
3. 中频(MF)电源：中频电源也是真空镀膜设备中常用的一种电源系统，它可以根据需要接入靶基座，使用中频溅射技术。
4. 负压直流电源：负压直流电源是用来提供负压电场的电源，主要用于控制镀膜材料在真空镀膜过程中的沉积速率和薄膜的厚度。它通常与高频电源配合使用，以实现对薄膜性质的控制和调节。
此外，还有脉冲电源、励磁电源、加热控制电源等其他类型的真空镀膜电源，它们根据具体的镀膜工艺和需求进行选择和使用。
以上列举的真空镀膜电源种类并非穷尽所有，随着技术的进步和应用需求的变化，可能还会有新的电源类型出现。在实际应用中，需要根据具体的镀膜材料和工艺要求选择适合的电源类型。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
