作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-02-29
真空镀膜电源控制沉积速率的主要方式是通过调节输出的电流和电压。这种电源通常具有高精度的电流和电压控制功能，可以实现对镀膜过程中沉积速率的精确控制。
具体来说，在真空镀膜过程中，材料的沉积速率与蒸发源的温度、蒸发材料的性质、真空室内的气体压力以及基底表面的温度等因素有关。而真空镀膜电源通过提供稳定的负压电场，可以控制蒸发源的蒸发速率，从而进一步控制沉积速率。
此外，真空镀膜电源还可以与高频电源配合使用，通过调节高频电源和负压直流电源的工作参数，可以实现对沉积速率更为精细的调节。高频电源产生的高频电场可以使材料以离子形式在真空室中沉积到基底表面上，而负压直流电源则用来进一步控制这些离子的沉积速率。
因此，通过对真空镀膜电源输出的电流和电压进行精确控制，可以有效地实现对沉积速率的控制，从而满足不同应用对薄膜厚度和质量的需求。这种控制方式在光学、电子、太阳能等领域的应用非常广泛。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
