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直流磁控溅射电源工作原理

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直流磁控溅射电源工作原理

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-11-07

直流磁控溅射电源是一种用于提供溅射过程中所需电能的设备。它的工作原理是通过基本的直流电路,将交流电转换为稳定的直流电,然后通过磁控技术调整电流和电压的大小,以满足溅射过程的要求。直流磁控溅射电源的主要组成部分包括整流电路、滤波电路、稳压电路和磁控电路。首先,交流电经过整流电路转换为直流电,并通过滤波电路平滑输出电压。然后,稳压电路对电压进行调节,以保持稳定的输出。最后,磁控电路调整电流和电压的大小,以适应不同的溅射需求。直流磁控溅射电源具有高效、稳定、可靠的特点,并广泛应用于表面涂装、薄膜制备、材料加工等领域。通过掌握直流磁控溅射电源的工作原理,可以更好地理解和应用这一技术,提高工作效率,推动先进材料制备技术的发展。


  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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