作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-10-24
根据真空镀膜工艺的不同，一定要匹配类型合适的真空镀膜电源。客户在咨询真空镀膜电源时聊起一个案例，在直流磁控溅射镀膜后，品检时发现镀膜后的薄膜上有许多黑色小颗粒，且大部分颗粒是突起的，客户觉得非常疑惑，基材明明已经清洗干净了，虽然客户没有具体说明溅射工艺，比如靶材、电源、气压、基体材料等，英能电气技术同事们根据以往的经验分析可能有几方面原因导致，腔体不干净带来的粉尘；靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质、电源类型不匹配等方面的原因；如果是反应溅射，还可能是氧化不彻底等原因引起，所以选择合适的真空镀膜电源非常重要。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
