作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-10-11
双极性脉冲磁控溅射电源的一个工作周期内存在正负两种电压，在镀膜过程中正负电源适时切换，及时释放电荷积累。同时也存在正负两种脉冲，负脉冲的作用同单极性脉冲偏压电源一样，工作于靶材的溅射。正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子来中和工件表面的正电荷积累。以达到减少打火的目的。需要注意的是，当正电压为零时，双极性脉冲偏压就变成单极性脉冲偏压。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
