作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-09-26
偏压电源主要用于多弧离子和磁控溅射镀膜过程中的辉光清洗、离子轰击和膜层沉积时在被镀工件上施加偏压，在辉光清洗时，它产生辉光；在离子轰击中加速离子，提高离子轰击工件表面的能量，以达到溅射清洗效果和提高膜层结合力的目的，在膜层沉积时，它用于增加离子能量，促进和改善薄膜生长，提高膜层结合力。在多弧离子和磁控溅射镀膜技术中。偏压电源在磁控溅射镀的离化率要远低于多弧离子镀，所以偏压电源应用在磁控溅射镀膜设备中的功率会更小。目前大部分镀膜设备既配备磁控溅射靶，也配有多弧靶，选择偏压电源时，要以最大电流来决定。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
