作者:深圳市英能电气有限公司
时间:2023-09-22
电弧电源也就是我们常说的弧电源,在电弧离子镀膜中靶材蒸发和电离的实现离不开弧电源提供能量,并且弧电源还能自动检测灭弧现象并自动引弧,保证镀膜过程中的连续性和膜层的均匀性;此外,弧电源的稳弧性能尤其是最小稳弧电流对膜层的一致性、效率性和光洁度影响很大。稳定可靠的弧电源对整台设备的性能至关重要。弧电源从传统电源式,发展到现在的高频逆变式,与传统电源相比不仅电源的体积、重量缩小,电源效率更是提高了20%~30%左右,电源的响应速度和调节精度更高。
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