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单极脉冲偏压电源占空比的大小对产品品质有什么影响

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单极脉冲偏压电源占空比的大小对产品品质有什么影响

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-09-05

为了获得理想的镀层质量和均匀性,一般会根据不同的靶材选择不同的占空比。例如,在镀金属膜的过程中,通常要采用较低的占空比,以保证金属沉积的均匀性和质量。通过工艺的调节找到一个平衡点,既能满足膜层品质,又减少工件打火频次,提高生产效率。


  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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