作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-05-06
单极性脉冲磁控溅射电源比普能的直流电源多了一个占空比可调，如果将占空比调到最大，就可以作为普通直流电源来使用。那么什么是占空比，它到底有什么作用呢？
真空镀膜电源的占空比是指在一个特定时间段内，电源输出信号的高电平时间占总时长的比例。这个参数是控制电源输出的重要因素之一，它的作用不仅仅是保证真空镀膜过程中的稳定性和一致性，还直接决定着被镀膜物质的特性和质量。
为了确保镀层的质量和稳定性，电源的占空比需要在一定范围内变化。这是因为在镀膜过程中，被镀膜物质表面的蒸汽压力和速度都会发生变化，这就需要通过调整占空比来适应这些变化，以保证稳定的电源输出和优质的镀层质量。
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