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离子源电源是如何工作的?

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离子源电源是如何工作的?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-03-24

离子源电源利用气体放电原理,将工件放置在气体放电形成的等离子体中,通过放电粒子对工件表面进行轰击。气体等离子中包含的正离子、负离子、中性粒子、自由电子、光子和自由基等粒子,通过控制气体放电过程使等离子体轰击工件,可以消除表面附着的一些低分子物质,使其被电离、离解或解吸;同时其中一些高能载荷粒子所具有的丰富化学活性可以引起表面的物理形貌和化学结构的变化,使工件得到表面刻蚀和活化作用。

显然,利用离子源电源进行离子轰击清洗工艺完全不同于液体清洗,是一种比较理想的“干式清洗”处理过程,具有明显的绿色环保工艺技术特点。可以对金属、塑料、玻璃等材料表面进行除油、活化、清洗处理,在薄膜沉积、半导体、纺织、精密机械等领域得到了较好的应用。在镀膜前通过离子轰击工件,其轰击能量可传递给基底的晶格原子,使晶格结构遭到破坏,增加工件表面的微观粗糙度,使基底的表面原子彻底裸露,提高原子的极化率,缩小了薄膜原子与基底表面原子的间距,同时增加薄膜与表面的接触面积,有利于提高机械锁紧力,从而极大地改善薄膜与基底间的附着力。

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了解了离子轰击的基本原理,对我们的离子源电源的使用上应该有了更加清晰的认识,很多人对离子源电源清晰表面还是存在着很多的疑虑,但是也有很多人意识到使用离子镀膜的重要性,传统的清洗方式真的满足不了当前不短需要提高的产品品质,怎么办,英能就是专门针对这种表面清洗研发了一款离子镀膜电源,代替传统的清洗模式,能达到更加光滑致密的表面,目前用得比较多的是在蒸发镀膜机上使用。如果用在溅射镀膜机上使用,我们有常规电源直流磁控溅射电源中频磁控溅射电源双极脉冲偏压电源脉冲偏压电源弧电源高压脉冲电源,当然还可以根据不同的参数需求进行定制,如有兴趣了解可以来电咨询:18025476062。

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