作者:深圳市英能电气有限公司
时间:2023-04-13
在真空镀膜的过程中,离子加速是一个非常重要的步骤。它可以为电源提供能量,将离子加速到足够高的速度和能量水平,使它们可以有效地沉积在镀层表面,从而使得镀层具有更高的质量和均匀性。
电源提供的加速电压和电流是影响离子加速的最重要参数。一般来说,加速电压越高,离子的速度就越快,从而使得它们在沉积时具有更大的能量和入射动量,以及更大的沉积能力。另外,电流的大小也会影响到离子的速度和能量,以及沉积量。随着电流的增加,离子的速度和能量将会增加,但是也有可能引起离子束折射和偏转的问题。
此外,真空泵的抽气速度也会影响离子加速的效果。如果真空泵不够强大,可能会导致离子束不稳定和偏斜,使得沉积不均匀。
因此,在进行真空镀膜时,需要考虑多种因素的影响,以达到最佳的离子加速效果,从而获得高质量和均匀的镀层
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