作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-03-29
一、电控柜的操作
1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源
2、开总电源
3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作
1、总电源
2、真空镀膜设备同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：汽车玻璃镀膜按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3、开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
三、关机顺序
1、关高真空表头、关分子泵。
2、待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3、到50以下时，再关维持泵。
镀膜机常见故障及处理方法
检测不到掩膜夹具翻转信号：
1、检查翻面信号源位置
2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。
掩膜夹具翻转不稳定:
1、检查翻板的初始位置是否符合时机
2、检测翻面控制开关工作是否稳定，可用指针万用表跟踪监测。
3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
4、检查翻面信号次数设置
5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象
6、检测旋转工作台在转动时的稳定性
在同一掩膜夹具频率散差大:
1. 检查晶片本身是否散差大
2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板
3.检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟
4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟
5、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟
锅与锅之间频率散差大:
1、观察一下监控片是否存在跳频现象
2、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性(不超过75Hz)
3、检查冷却水是否通畅
4、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟
5、监控片选用是否符合要求，建议采用我公司的监控片
镀膜频率不停止:
1、检查频率参数设置是否正确
2、钼舟电流表是否有指示
3、钼舟中是否有银
4、监控片是否跳频
5、修正系数是否错误
6、在出现非正常退后是否更换过监控片
测试不到频率:
1、更换一下监控片
2、检查一下测试弹片是否变形
3、用一只5MHz的晶体直接插入振荡器输入端测量频率，若有频率证明是探头问题，若无频率，用计数器测量一下振荡器输出频率是否异常，无正常输出证明振荡器有问题，有正常输出但计算机无显示证明控制卡有问题
控制阀均不动作:
1. 检查5V电源是否有输出，是否接好
2. 检查固态继电器板上电源公共端是否有电
控制阀个别不动作
1、检查相应的固态继电器是否有输出
未达到真空度就工作:
1、数字真空计出现不正常数字，且30秒内无变化，例如0.00-4(国产真空计常见)现象
2、指针表在真空计打开30秒后，黑色指针仍不摆动
监控片使用原则
1、监控片表面要清洗干净
2、监控片要随用随镀，空气中暴露12小时以上禁止使用
3、监控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用
4、使用过程中要记录好使用批次，严禁出现新旧混用
5、监控片反复使用寿命为3次。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，已获得高新技术企业认定，通过iso:认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
