作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-02-08
经常听到有客户抱怨说打火严重，报废率高，严重耽误交货期还影响产品的利润，尤其是镀钢塑合体的素材，或者特殊的画油间电产品，打火更是严重，也找不到具体的原因，今天我们就来好好说说这到底是怎么回事？
首先打火我们要找到是什么原因造成的，要看是平面靶材还是旋转靶材打火，因为大家用的比较多的是旋转靶材，这里着重介绍旋转靶材，如果是旋转靶材可能是磁场设计的问题，也有可能是靶材本身纯度的问题。旋转靶材两端容易结瘤，有人认为结瘤的地方是无效的，所以在靶材两端用钛材料代替，这样可以解决打火问题，但是会导致工作时电位不稳定，因为靶材转动的时候，钛与硅的交界电位活动很大，导致电位不稳，从而导致镀膜过程中膜厚不稳定。如果设备有观察窗口，通过观察窗口，当玻璃经过时，会发现此时辉光来回波动。无论是平面靶还是旋转靶材，设计磁场时，都应该让靶材表面的刻蚀面积越大越好。旋转靶材溅射面刚好到靶材顶端，这是最理想的状态，这样能大大减少打火状态的发生。溅射到顶端并不是因为想让靶材利用率更高点，而是让靶材表面尽可能地干净，这样能大大减小靶材表面结瘤和打火现象。平面靶也是同样的情况，中间的非刻蚀区域越小越好，这样靶材表面更干净，而且能提高靶材利用率。
排除了以上的原因，其实电源也是一个关键因素，英能公司针对这个问题专门研发了一款双极脉冲偏压电源，可以很好的解决素材打火的情况，不良率可控制在3‰以内，基本解决了打火的问题，当然英能的其他电源比如中频磁控溅射电源、脉冲直流磁控溅射电源、脉冲电源、高压直流电源都是不错的选择，稳定性是电源最大的亮点，都得到客户的广大认可的直流电源的厂家 ，如有兴趣进一步深入了解请咨询18025476062，我们将为您竭诚服务，为您解决生产过程中遇到的各种棘手问题，您的满意是我们前行的动力，小编24小时在线为您服务。
