作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-03-29
真空镀膜技术是一种先进的表面处理技术，广泛应用于各个领域。在真空镀膜过程中，电源的质量和性能对镀膜质量和效率具有非常重要的影响。因此，选择合适的电源对于实现高质量、高效率的表面处理至关重要。真空镀膜电源是指在真空环境中使用的特殊电源，通常分为三类。
第一类是电弧源电源。这种电源使用弧放电来产生高温等离子体，将加热材料蒸发成蒸气，使其沉积在目标表面上以形成涂层。电弧源电源通常具有高能量密度和高效率，适用于镀膜材料较难挥发的情况下，如金属、陶瓷等。电弧源电源还可以用于合成新材料，例如合成晶体和金属非晶体。
第二类是阴极溅射电源。在这种电源中，金属或合金靶材被加热并离子化，离子击中材料表面并在其上沉积，在单晶、薄膜、多层膜的生长过程中广泛应用。阴极溅射电源优点在于产生高质量的膜层，具有稳定性和可重复性强等特点。它可以在高真空、大气压等条件下操作，是制备薄膜、电路、太阳电池等的重要工具。
第三类是离子束溅射电源。与阴极溅射相比，这种电源可以产生更高的能量密度，产生的薄膜具有更高的质量和致密性。离子束溅射被应用于制造太赫兹和红外线传感器、反射和抗反射涂层等。它还可以在多种材料上安装，如氧化物、硅、金属和半导体，具有出色的镀膜效果。
总之，根据不同的应用需求，选择具有适当电源的真空镀膜工艺可以获得更好的经济效益和技术性能。
