作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-03-22
真空镀膜机作为一种高精密设备，在工艺流程及使用中都需要高度重视其密封性能。为了保证镀膜质量和设备的长久稳定运行，检漏工作则成为了一个非常必要和重要的环节。那么，真空镀膜机如何检漏呢？
首先，我们需要了解真空镀膜机的密封点。通常情况下，真空镀膜机的密封点主要分为以下几类：机械密封，气动密封，真空密封，电器接口等。根据密封点的不同，我们需要选用不同的检漏方式。
对于机械密封，在运行中，由于受到很大的力和磨损，易产生漏气现象。此时我们可以采用静态检漏方式，即在停机状态下，利用探头和专业检漏仪器，对机械密封进行检测。
对于气动密封，则通常采用静态或动态测漏的方式。在静态测漏时，我们需要将气动密封与检漏仪器连接，达到稳态状态后进行检测；在动态测漏时，则需通过转速控制，使气动密封在一定速度下旋转。这种检漏方式更全面、更直观，能够更好地发掘气动密封的漏气问题。
对于真空密封，则通常采用质谱检漏的方式。这种检漏方式是目前较为常用的检漏方法之一，主要是通过质谱仪器检测出被检测物质的分子量，分析分子量的变化情况，从而得知密封是否存在漏气问题。
对于电器接口还可以采用红外检测的方式进行检漏。这种检漏方法主要基于红外辐射的原理，通过专业检漏仪器进行检测。
总的来说，对于真空镀膜机的检漏，不同的密封点需要采用不同的检漏方法，同时还需要掌握专业的操作技巧和检测流程。采用正确的检漏方式，能够及时、准确地发现漏气问题，从而确保真空镀膜机的正常稳定运行，提高设备的使用寿命和产品的质量。
