作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-12-01
中国深圳
今天开始讲离子镀膜技术的基础知识，离子镀膜是在真空中的气体放电中进行的，所以基础知识是真空物理和等离子物理，真空物理和等离子体物理是重要的学科，我们离子技术只使用了其中一部分知识，所以只能说一些真空物理的基础知识和等离子体的基础知识，首先说说真空物理基础知识，真空的定义，低于一个标准大气压的气体状态是处于一个真空状态，真空度表示气体的稀薄程度，描述真空度高低是用压强单位来表示，现在通用的是Pa,一个大气压的真空度相当4.7*10^4Pa，那么一个大气压下有多少气体分子呢？有2.687*10^19/cm3,所以我们周围有许多气体存在，就是抽到超高真空度，达到10-7-10-8Pa这样一个压强下仍然有33-330个气体分子，真空越高，气体分子的数量越少，真空度越低，气体分子的数量越多，压强的意义就是容器中气体分子对器壁的碰撞产生的压力，真空度越高，因为分子气体越少所以压强低，真空度低，气体分子多所以压强大。
真空有自然真空和人工真空，自然真空是以海平面为基准，海拔越高，气体越稀薄，气压越低。人工真空是用真空泵抽除密闭容器内的气体使之达到不同的真空程度，真空度的分类有低真空，中真空，高真空和超过真空，低真空度的范围1*105-1*102Pa，用机械泵/滑阀泵抽除才能达到这样一个真空度，中真空度的范围是1*102-1*10-1Pa，用增压泵，罗茨泵能够抽到这样一个真空，高真空度是1*10-1-1*10-5Pa，用扩散泵和分子泵才能抽到这样一个真空度，超高真空度是1*10-5-1*10-8Pa，一般采用吸附泵和溅射泵才能抽除到这么高的真空度。
了解了真空物理基础知识，有助于我们更好理解真空镀膜电源的工作原理，其中镀膜电源有偏压脉冲电源，方波脉冲电源，高压中频溅射电源，直流镀膜电源，有些东莞真空镀膜电源厂家应用我们的电源得到了一致的好评，如果您正好也有需求，不妨来了解下我司的电源，详情请咨询18025476062.
