真空镀膜电源

　　真空镀膜电源的日常操作确实有一定的规律可循，以下是结合参考文章中的信息，对真空镀膜电源日常操作规律的清晰归纳：

　　一、开机前准备

　　检查设备：确保真空镀膜机及其电源设备处于良好状态，无损坏或异常现象。

　　水压检查：在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，并随时注意水压，确保水压稳定且符合设备要求。

　　二、开机操作

　　开启电源：按照正确的顺序开启电源，包括电控柜的总电源、维持泵、真空计电源等。

　　真空抽取：

　　开启机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

　　观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能进行后续操作。

　　三、镀膜操作

　　在离子轰击和蒸发时，特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。

　　在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。

　　镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。

　　四、关机操作

　　关闭高真空表头、分子泵。

　　待分子泵显示到50时，依次关闭高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

　　到50以下时，再关闭维持泵。

　　工作完毕应断电、断水。

　　五、安全注意事项

　　易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。

　　酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。

　　把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。

　　六、日常维护和保养

　　定期对真空镀膜电源及其相关设备进行维护和保养，确保其处于最佳工作状态。这包括清洁设备、检查电线接头、更换磨损部件等。

　　总之，真空镀膜电源的日常操作需要遵循一定的规律，包括开机前准备、开机操作、镀膜操作、关机操作以及安全注意事项等。同时，日常维护和保养也是确保设备长期稳定运行的关键。

　　深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958