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PECVD电源

PECVD电源
PECVD电源

PECVD电源

应用领域:

1.半导体制造

2.光伏产业

3.微电子领域

型号参数 应用领域

型号参数

项目型号

L**-10/A

L**-10/B

L**-20/A

L**-20/B

L**-30/A

L**-30/B

L**-40/A

L**-40/B

PECVD系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW10KW-100KW可定制
A款:工作电流2A-10A3A-20A4A-30A5A-40A2A-100A可定制
A款:工作电压100V~1000V(空载电压>1000V)
B款:工作电流2A-12.5A3A-25A4A-37.5A5A-50A-
B款:工作电压100V~800V(空载电压>800V)-
输出频率20kHz~350kHz(常规频率:20kHz~80kHz
占空比10%~80%(最大94%)
工作方式恒压、恒流、恒功率
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)

710(D)×435(W)×225(H) 

810(D)×435(W)×280(H)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


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