真空镀膜电源

　　在真空镀膜电源的检漏过程中，需要注意以下几个方面，以确保检漏工作的准确性和有效性：

　　确认漏气的性质：

　　首先要确认漏气是虚漏还是实漏。虚漏可能是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发等原因引起的，而实漏则是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。

　　检漏仪器的校准和选择：

　　检漏前需要确定检查仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性，以最大规模地检查出漏气状况，防止漏孔被疏忽。

　　根据被检设备的特点和需求，选择合适的检漏装置和方法，如氦质谱检漏仪、真空检漏仪等。

　　清洁处理：

　　对被检真空设备零部件进行清洁处理，去除焊渣、油垢等杂质，然后进行烘干或烘烤处理，以确保检漏的准确性。

　　真空度的提高：

　　在真空检漏法的情况下，为提高检漏装置的检漏灵敏度，应尽量将被检设备零部件抽至较高真空度。必要时，可进行烘烤除气处理。

　　氦质谱检漏法的使用：

　　氦质谱检漏法所使用的设备和氦气价位都较高，因此应尽可能采用较为经济的其它检漏方法或装置。但在某些对检漏灵敏度要求较高的场合，仍需使用氦质谱检漏仪。

　　对于检漏灵敏度要求不高的或有大漏孔的待检零部件，可在检漏初期用低浓度的氦气进行初步检漏，以节省氦气的使用。

　　补修和复检：

　　检出漏孔后，应及时进行补修，并再次检查设备的小漏孔，确保所有漏孔都得到修复。

　　所有检出的漏孔都要经过复检，以确保漏孔已被完全修复。

　　反应时间和消除时间的控制：

　　把握检漏仪器的反应时间和消除时间，确保检漏仪器工作到位。时间过短可能导致检漏效果不佳，时间过长则浪费检漏气体和人工电费。

　　防止漏孔阻塞：

　　在检漏过程中，要注意防止尘埃或液体等将漏孔阻塞。有时这些阻塞物会因为内外压强差异或其他原因而消失，导致漏气仍然存在。

　　安全操作：

　　在检漏过程中，要注意安全操作，避免对设备和人员造成损害。遵循相关的安全操作规程，确保捡漏工作的顺利进行。

　　通过以上步骤和注意事项，可以确保真空镀膜电源的捡漏工作准确、有效、安全地进行。

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