作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-06-26
真空镀膜电源的开机和关机步骤及其特点如下：
开机步骤及特点：
准备工作：开机前，需熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”，并检查水、电、气是否正常。冷却水压力一般可在0.2MPa以上，气压在0.4Mpa以上，电压在370-390V。
开机顺序：
首先启动气动机械泵。
约30秒后，打开前级阀。
开启复合真空计。
待前级抽至10Pa以下且稳定时，再开启扩散泵(需到后面查看电炉丝是否发红)。
关机步骤及特点：
关闭顺序：
首先关闭电离计。
关闭高阀。
切断加热器电源。
使用前级泵抽前级，让其自然降至室温。
关闭前级管道阀。
停止机械泵。
停止冷却水、电和气的供应。
总结不同点：
操作流程：开机步骤是逐步开启设备各组件，而关机步骤则是逐步关闭各组件，并确保设备安全地冷却至室温。
关注点：开机时，需要关注各组件启动的顺序和时间间隔，特别是扩散泵的启动条件(前级抽至10Pa以下且稳定)。关机时，需要确保设备安全、稳定地冷却至室温，防止设备过热或损坏。
安全因素：无论是开机还是关机，都需要严格遵守安全操作规程，确保操作人员的安全和设备的稳定运行。
以上是真空镀膜电源开机和关机的步骤及特点，供您参考。在实际操作中，还需要根据具体的设备型号和操作规程进行调整。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
